• 查一下
  • 开通会员

  • 东进半导体与三星成功开发EUV光刻胶

      12月19日消息，据韩媒报道，东进半导体宣布，近期通过了三星电子的EUV PR（光刻胶）可靠性测试。消息人士称，东进半导体在其位于京畿道华城的工厂开发了EUV PR，并在三星电子华城EUV生产线上对其进行了测试。   EUV PR是2019年日本对韩国的三大限制出口半导体材料之一。目前，韩国已量产用于氟化氪 (KrF) 和氟化氩 (ArF) 工艺的PR，但没有用于可以绘制更精细电路的EUV的P

    东进半导体

    芯闻路1号 . 2021-12-20 2535

  • 1