12月19日消息，据韩媒报道，东进半导体宣布，近期通过了三星电子的EUV PR（光刻胶）可靠性测试。消息人士称，东进半导体在其位于京畿道华城的工厂开发了EUV PR，并在三星电子华城EUV生产线上对其进行了测试。
EUV PR是2019年日本对韩国的三大限制出口半导体材料之一。目前，韩国已量产用于氟化氪 (KrF) 和氟化氩 (ArF) 工艺的PR，但没有用于可以绘制更精细电路的EUV的PR，韩国目前使用的EUV PR大部分是从日本进口的。
（图片来源于网络）
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