万业企业：出售多台12英寸集成电路设备
2 月 8 日消息，万业企业发布出售集成电路设备的公告，公司旗下北京凯世通拟出售多台 12 英寸集成电路设备，包含低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，总交易金额约为人民币 6.58 亿元。 作为集成电路前道四大核心设备，离子注入机设备的研制难度极大，仅次于光刻机，长期被海外设备商应用材料、Axceils 垄断。据悉，目前一条月产 1 万片的 12 英寸逻辑芯片生产线大约需要
离子注入机
芯闻路1号 . 2022-02-08 1 2682
中国电科实现全谱系离子注入机国产化
离子注入机示例图 中国网3月17日讯（记者谢露莹）记者17日从中国电科获悉，该集团旗下子集团日前已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。 离子注入机是芯片制造中的关键装备。中国电科连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，累计形成核心发明专利
中国电科
中国网 . 2021-03-18 1653
芯片制造关键设备再突破，离子注入机实现全谱系产品国产化
摘要：据新华网报道，中国电子科技集团有限公司于3月17日对外宣布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。 据新华网报道，中国电子科技集团有限公司于3月17日对外宣布，该集团旗下装备子集团攻克
芯片
芯智讯 . 2021-03-18 1160
芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化
中国电子科技集团有限公司17日对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。 来源 @新华视点 编辑：曾佳佳 流程编辑 吴越
离子注入机
北京日报客户端 . 2021-03-18 840
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