万业企业:出售多台12英寸集成电路设备

来源: 芯闻路1号 2022-02-08 14:58:00

   2 月 8 日消息,万业企业发布出售集成电路设备的公告,公司旗下北京凯世通拟出售多台 12 英寸集成电路设备,包含低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机,总交易金额约为人民币 6.58 亿元。

  作为集成电路前道四大核心设备,离子注入机设备的研制难度极大,仅次于光刻机,长期被海外设备商应用材料、Axceils 垄断。据悉,目前一条月产 1 万片的 12 英寸逻辑芯片生产线大约需要 20 台以上离子注入机。万业企业旗下凯世通依托多年的设备研发及产业化经验,成为了国内首家为 12 英寸主流芯片制造厂批量供应半导体离子注入机的制造商,并率先应用在 28nm 成熟制程产线。

(图片来源于网络)

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