盛美上海获批量Ultra C wb槽式湿法清洗设备采购订单
2月14日消息，盛美上海宣布，公司已接到29台Ultra C wb槽式湿法清洗设备的批量采购订单。 据介绍，该设备可应用于加工300mm晶圆，其中16台设备的重复订单来自同一家中国国内代工厂，重复订单的目的是支持该工厂的扩产。这批设备计划从2022年开始分两个阶段发货。 盛美上海表示，这是自公司建立以来最大的一笔槽式湿法清洗设备采购订单，设备支持广泛的清洗应用，现可搭载超低压干燥（
盛美
芯闻路1号 . 2022-02-14 2350
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