压电材料结合屈曲诱导，让3D MEMS微结构“舞动”起来
图为一款具有五个独立PZT微执行器的代表性3D介观结构。A）该系统的2D架构示意图；B）通过受控双轴压缩屈曲组装后的3D系统图示；C）版图扩展视图；D）该3D架构的光学图像；E）该3D架构的顶部和侧面透视结构的扫描电子显微镜（SEM）图像。其中，利用假色突出了电极（金色）和微执行器（蓝色）；F）用颜色显示应变的大小，表示有限元建模的结果。据麦姆斯咨询介绍，MEMS技术在生物技术和高级工程领域的应用
半导体
未知 . 2018-10-13 1250
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