MEMS设备市场稳步成长 多种MEMS制程崭露头角
市场研究机构Yole Developpement的最新报告指出，仅管微机电系统（MEMS）产业的标准化尚未落实，各大公司仍致力于让自己的技术平台最佳化；这方面的制程革新也将驱动 MEMS 设备及材料在2012到2018年间达到7%的年复合成长率。 制程革新将点燃MEMS的设备与材料市场，Yole Developpement预期 MEMS相关制造设备市场将在接下来五年内，以5.2%的年复合成长率从2
MEMS制程
Yole Developpement . 2013-03-29 1020
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