上海集成电路材料研究院采用创新范式提高光刻材料研发效率
上海集成电路材料研究院官网日前刊文，回顾了该院建院两年来取得的科研与产业化成果。 这家由中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海硅产业集团股份有限公司共同发起成立的研究机构致力于衬底材料、工艺材料的研发与产业化，面向企业需求和产业化落地，积极开展技术攻关。 如该院针对抛光垫、抛光液材料性能以及抛光压力、抛光温度、抛光液流速等抛光工艺对大硅片平整度的影响，开发了全套大硅片抛光解决方案。
上海
芯闻路1号 . 2022-08-14 1702
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