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  • 超车台积电 英特尔率先采购下世代EUV设备

      在台积电先前采购EUV (极紫外光) 微影系统设备之后，英特尔近日和ASML共同宣布首度率先采购下世代最新EUV设备High-NA，并计划2025年导入量产。   依据双方共同新闻稿提到，英特尔和ASML加强合作，推动High-NA在2025年投入制造，此次是英特尔率先且首次订购ASML的TWINSCAN EXE：5200系统，象征着迈出关键一步。   ASML并未揭露哪家半导体厂率先采用下世

    台积电

    芯闻路1号 . 2022-01-20 3269

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