曝三星正研究用于芯片生产的聚焦环新材料，考虑用 B4C 替代 SiC
2月15日，TheElec 报道，三星正在研究和开发一种用于制造聚焦环（focus ring）的新材料。 聚焦环是晶圆制造蚀刻过程中使用的商品。它将晶圆固定在适当的位置以保持等离子体密度并防止晶圆侧面受到污染。 过去，石英和硅被用于制造聚焦环。但随着在先进晶圆制造中使用干法蚀刻而不是湿法蚀刻的情况有所增加，对由碳化硅（SiC）制成的聚焦环的需求也在增加。SiC 环比纯硅环更耐用，使用寿
三星
芯闻路1号 . 2022-02-17 2 3321
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