联合微电子中心发布国内首个自主开发180nm全套硅光工艺PDK
2020 年 5 月 30 日，联合微电子中心（CUMEC）在重庆向全球隆重发布“180nm 全套硅光工艺 PDK（process design kit）”。180nm 全套硅光工艺 PDK 的发布标志着联合微电子中心具备硅基光电子领域全流程自主工艺能力，并正式开始向全球提供硅光芯片流片服务。 硅光芯片是将硅光材料和器件通过特殊工艺制造的集成电路，主要由光源、调制器、探测器、无源波导器件等
硅光工艺
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