氢氟酸水溶液中离子辐照LiNbO3的蚀刻
引言 用多能氩离子辐照x射线切割铌酸锂单晶，产生厚度为400纳米的均匀损伤表面层，研究其在HF水溶液中的腐蚀行为。使用不同的酸温度和浓度，表明可以通过将温度从24℃提高到55℃来提高蚀刻速率，同时保持该技术的高对比度。讨论了氟化氢在水溶液中的分解，并应用氟化氢蚀刻二氧化硅的反应动力学获得了蚀刻机理的信息。因此，分析了蚀刻速率的浓度依赖性，发现蚀刻过程可以描述为HF或HF 2的侵蚀，其由H+
溶液
华林科纳半导体设备制造 . 2021-12-23 891
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