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  • MEMS行业市场发展及应用前景

    　　MEMS（微机电系统）是在半导体制造技术基础上发展起来，是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，基于光刻、腐蚀等半导体技术，融入超精密机械加工，并结合材料、力学、化学、光学 等，使一个毫米或微米级别的MEMS系统具备精确而完整的电气、机械、化学、光学等特性。 　　MEMS 器件主要包括传感器、执行器、微能源等，传感器较为成熟，执行器和微能源多处于起步阶段： 　　传感器：MEMS传感器是目前应

    微能源

    中国产业信息网 . 2016-11-01 1180

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