消息称三星自行研发EUV光罩护膜，预计2022年底量产
据韩媒报导，三星日前于Foundry Forum 2021宣布，预定2022年上半展开EUV光罩护膜质量测试，2022年底开始量产。尽管三星分别投资659亿韩元(约5,500万美元)、430亿韩元给韩厂S&S Tech与FST开发EUV护膜，仍将自行量产，以确保供货稳定。 消息称三星综合技术院(SAIT)约自5年前开始研发EUV护膜，但是在透光率、耐久性等方面，尚未达到可实际导入制程的水平
三星
中国闪存市场 . 2021-10-19 2112
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