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  • 韩国FST首次供应EUV光罩护膜设备

    韩国FST首次供应EUV光罩护膜设备

      据etnews报道，韩国FST已供应极紫外（EUV）光罩护膜设备。光罩护膜是用于半导体曝光工艺的材料，最大限度地减少对绘制半导体电路图案的掩膜的损坏。EUV对于超精细半导体制造至关重要，并且光罩护膜在EUV工艺中的使用正在增加。EUV工艺中使用韩国产材料、零部件或设备的情况极为罕见，但FST成功迈出了第一步。   FST公司在7月17日宣布，获得国内半导体制造商的极紫外（EUV）光罩护膜贴合、

    快讯

    芯闻路1号 . 2023-07-17 1 1950

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