0.1nm！央视：国内首台光镜镀膜设备投用，光刻机的最后一块拼图
根据零部件效力程度划分，EUV光刻机共分三个核心部件：双工件台、EUV光源、EUV光学镜头。目前我国已经成功攻坚适用于EUV光刻机设备的EUV光源、双工件台系统。EUV光学镜头成为我国实现高端芯片制程的最后一块拼图。 我是柏柏说科技，资深半导体科技爱好者。本期为大家带来的是：0.1纳米以下，中科科美正式投用的直线式劳埃透镜镀膜装置、纳米聚焦镜镀膜装置。国内首台高能光源设备步入安装阶段。 老规矩，开
央视
柏柏说科技i . 2021-07-05 1 2800
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