离子注入-芯查查

你可能不知道的离子注入机的那些事

半导体器件的电学性能取决于半导体掺杂的杂质浓度，在半导体晶圆制造过程中，要使导电性能很差的纯净硅变为一种有用的半导体，需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变，这个过程就被称为掺杂。目前掺杂工艺有高温热扩散法和离子注入法两种，其中离子注入占据着主流地位。受制于发展历史短，技术门槛高等多项条件限制。我国离子注入机领域发展十分缓慢，自主率低，受国外挤压较为明显，同时在内部，也出现过大大

离子注入

芯闻路1号 . 2023-03-23 3 51 1.5w