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  • PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室落户苏州

    近日，由苏州纳米科技发展有限公司与日本爱发科（ULVAC）共建的PZT压电薄膜MEMS器件联合实验室落户苏州纳米城，双方将共同推动PZT压电薄膜材料在MEMS器件制造领域的应用。日本爱发科株式会社代表取缔役执行役员社长岩下节生，苏州工业园区党工委委员、管委会副主任孙燕燕等出席签约仪式。 PZT压电薄膜材料可减小MEMS芯片面积、简化生产工艺、提高制造良率、降低生产成本，日本爱发科是该材料生产设备的

    芯片

    yxw . 2019-06-10 935

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