4月1日消息，台积电携手供应商开发“智能压缩干燥空气（CDA）流量控制系统”，节省测试机台70％的CDA用量并达到省电效果，预期每年可减少碳排4,473公吨及省电891万度。
晶圆测试的目的为确认每片晶圆的可靠度与良率，依不同测试环境需求，部分测试机台由厂务系统全时段供应CDA以确保低温时仍保持干燥，维持测试环境的稳定性。
台积电表示，因半导体工艺快速演进使测试需求持续增加，为提升机台运作与CDA使用效率，测试营运处于2020年第三季启动智能CDA流量控制系统开发专案，与设备供应商合作改造测试机台管路、控制阀件及控制软体系统，通过机台参数，可依据测试环境需求自动控制CDA流量开关，非低温测试环境时即关闭控制阀，达到有效节省CDA用量与电力的效果。
台积电预计今年第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新，并将智能CDA流量控制系统列为新建先进封测厂测试机台标准设计，预估至2026年可年省4,000万度电、减碳20,080公吨；台积电亦规画将智能CDA流量控制系统导入测试机，持续扩大节能效益，朝能源使用效率最佳化目标迈进。
图片来源：网络
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