4月1日消息,台积电携手供应商开发“智能压缩干燥空气(CDA)流量控制系统”,节省测试机台70%的CDA用量并达到省电效果,预期每年可减少碳排4,473公吨及省电891万度。
晶圆测试的目的为确认每片晶圆的可靠度与良率,依不同测试环境需求,部分测试机台由厂务系统全时段供应CDA以确保低温时仍保持干燥,维持测试环境的稳定性。
台积电表示,因半导体工艺快速演进使测试需求持续增加,为提升机台运作与CDA使用效率,测试营运处于2020年第三季启动智能CDA流量控制系统开发专案,与设备供应商合作改造测试机台管路、控制阀件及控制软体系统,通过机台参数,可依据测试环境需求自动控制CDA流量开关,非低温测试环境时即关闭控制阀,达到有效节省CDA用量与电力的效果。
台积电预计今年第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新,并将智能CDA流量控制系统列为新建先进封测厂测试机台标准设计,预估至2026年可年省4,000万度电、减碳20,080公吨;台积电亦规画将智能CDA流量控制系统导入测试机,持续扩大节能效益,朝能源使用效率最佳化目标迈进。
图片来源:网络
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