据路透社消息，荷兰光刻机巨头ASML CEO Peter Wennink 19日表示，截至目前该公司仍未获得向中国出口用于制造芯片的最新光刻机的许可。
据此前报导，ASML的执行副总裁及CFO Roger Dassen接受采访时曾指出，如果ASML从荷兰向中国客户销售DUV(深紫外线)光刻系统，是不需要出口许可证的；但如果向中国客户直接出口涉及美国方面的零组件及系统，依照美国要求，就必须获得出口许可。这意味着，比DUV更先进的EUV(极紫外光)光刻机的确不能直接卖给中国。
ASML计划2022年将其生产能力提高到55台EUV光刻设备，到2023年达到每年超过60台。
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