ASML更新火灾最新进度:EUV和DUV部分组件受到影响

来源: 芯闻路1号 2022-01-10 15:13:29

  ASML最新更新了其德国柏林工厂火灾事故的最新评估情况。

  ASML介绍,火灾发生在工厂的一座生产大楼的一部分,烟雾影响了相邻大楼,部分受影响的区域已经重新开始生产,其他没有受到影响的大楼仍在全面投入使用。

  目前,ASML仍在对火灾影响进行评估,初步结论如下:

  1.    计量和检验输出计划不受影响,因为该部分不包含柏林制造的任何组件;

  2.    DUV组件生产已重新启动。尽管部分DUV的组件的生产出现了一些中断,但我们希望以不会影响产量和收入计划的方式进行补救;

  3.    至于 EUV,火灾影响了我们EUV系统中的晶圆夹具模块的部分生产区域。我们仍在完成该生产区域的恢复计划,并最大限度地减少对EUV客户的潜在影响。

  另外,ASML表示,他们将在1月19日公布2021年第四季度和全年业绩,以及我们对2022 年的初步看法,届时还将提供有关该事件的进一步更新。

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