晶圆MEMS代工是最早的MEMS代工内容，许多工厂在早期的增长是倍速增长，大多通过提高资本支出来提高产能，从而达到快速增长。早在2010年，晶圆MEMS代工整个行业的产值就已经按照34%的速度在增长。其中不乏国内优秀的企业中芯国际，其营业利润率从负90.1%提升到1.4%。扭转为盈的国外企业则是Dongbu HiTek、VIS、上海先进半导体（ASMC）、Towerjazz、X-Fab等。
晶圆MEMS代工的产能提高都是通过加大投资获得的，当年中芯国际就是提出投资400多亿人民币；更有大手笔支出的Global Foundries试图通过追加投资挤下联华电子成为世界第二的排名。电子产品的火爆，手机和iPad的火热销售，只让部分晶圆MEMS代工公司受益。台积电和三星是当时最优先享受的公司。台积电是晶圆MEMS代工的龙头企业，占据市场的半壁尖山，领先其他晶圆MEMS代工工厂1-3年的水平，可以说行业地位不可撼动。
晶圆MEMS代工的产品涉及很多行业，它的投资金额一般都很大，同时还需要众多优秀的人才支撑。虽然说传统的台式电脑和笔记本电脑收到了平板电脑的冲击，但是晶圆MEMS代工依旧还是被需要的。高端领域的晶圆MEMS代工，像28纳米node，还有特殊产品代工领域产能过剩的现象不明显。
如今，很多非晶圆的MEMS代工已经慢慢崛起，涉及的领域更加广泛。像原位芯片提供MEMS代工则是完整的一套工艺流程，也可提供中试等。
责任编辑：YYX
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