韩S&S Tech投资5849万元开发量产EUV工艺核心材料
CINNO Research 产业资讯，韩国半导体材料厂商 S&S Tech 加快极紫外线(EUV)核心材料的开发和量产。据悉，该厂商目前在全球市场上还没有实现商业化的 EUV 用 Pellicle 产品领域已经具备了一定的技术实力。 根据韩媒 ETNews 业界消息，近日 S&S Tech 发布公告称，为了 EUV 工艺的核心材料 Blank Mask 和 Pellicle 的开发和量产，公司决
S&S Tech
-- . 2020-06-30 1030
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