AMHS-芯查查

AMHS前景虽好，但挑战不小

AMHS是Automatic Material Handling System，即自动物料搬送系统的简称，它能快速、准确，且平稳地按照工艺流程在生产设备之间搬送物料，主要由传输设备、存储设备、净化设备和控制软件等软硬件共同组成，可广泛应用在晶圆厂（Fab）、显示面板厂、锂电池厂、光伏工厂等。其中，晶圆厂内用采用的AMHS最为复杂，而且随着半导体制程技术的发展，AMHS的要求也越来越高。 A

AMHS

芯查查资讯 . 2024-11-15 2 2 7215