恒歌HG系列过滤器采用多层级烧结金属滤芯,在40MPa高压环境下实现0.01μm过滤精度,成为工业气体净化的核心技术方案。
一、烧结滤芯结构设计
梯度孔隙架构:
基层:80μm不锈钢纤维烧结层(孔隙率65%)
过渡层:15μm球形粉末烧结层(孔隙率45%)
功能层:5μm纳米纤维复合层(孔隙率30%)
三维贯通孔道:
孔道曲折度≤1.35(行业平均1.8)
比表面积达8000m²/m³(传统滤芯的3倍)
二、过滤性能关键指标
截留效率:
颗粒直径 0.1μm 0.05μm 0.01μm
截留率 99.99% 99.97% 99.95%
纳污容量:
初始压差0.02MPa
容尘量达1200g/m²(寿命延长50%)
三、极端工况适应性
高温高压测试:
250℃/40MPa连续运行1000小时,孔隙结构无坍塌
抗热震性能:ΔT=200℃/min骤变后无裂纹
化学兼容性:
耐受pH1-14介质(氢氟酸除外)
耐硫化氢浓度达20%vol
应用案例:
某半导体工厂在氩气净化系统中采用恒歌烧结滤芯后,晶圆表面金属离子污染降低至0.01ppt,良品率提升2.3个百分点。
全部评论