恒歌超纯气体技术：半导体制造的隐形功臣

来源：深圳市恒歌科技有限公司 2025-09-03 08:58:52

恒歌半导体工业使用的超纯气体种类繁多，涵盖氢、氧、氮、氩、氦等常见气体，以及氨、二氧化氮、四氧化碳各类气体氢化物和多元混合气等。这些气体广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等核心工艺，它们的纯净度直接关乎半导体元件的质量与性能。

在半导体制造的复杂流程中，超纯气体虽 “隐形”，却发挥着关键作用，恒歌的超纯气体技术更是其中的杰出代表。

半导体工业使用的超纯气体种类繁多，涵盖氢、氧、氮、氩、氦等常见气体，以及氨、二氧化氮、四氧化碳各类气体氢化物和多元混合气等。这些气体广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等核心工艺，它们的纯净度直接关乎半导体元件的质量与性能。

恒歌超纯气体技术的优势显著。制备过程中，针对不同原料气来源情况、杂质组份含量以及纯度要求，恒歌精准选择吸附法、吸收法、薄膜扩散法等恰当的制备方法。以从空气、天然气、石油化工和合成氨厂残余气体中提取并精制超纯气体为例，恒歌通过精湛的工艺，将粗气体逐步转化为符合半导体生产高纯度标准的产品。当半导体集成电路发展到兆位级后，对超净环境提出了更严格要求，恒歌在超纯气体供气系统中巧妙安装过滤器，有效解决因振动或气流冲击造成的脱落粒子问题，为半导体制造营造极致纯净的氛围，默默推动半导体产业朝着更精密、更高效的方向发展。