韩国拼半导体用特殊气体自产 TEMC成功供货三星

来源: 芯闻路1号 作者:未来星蜥蜴姐 2022-12-21 10:06:37

  为分散供应链风险,韩国正积极研究半导体材料自产,而韩国半导体气体制造业者TEMC传成功供货三星电子(Samsung Electronics),可望加快韩国半导体材料自产脚步。

  据消息,TEMC自2022年第3季起,开始供应三星半导体制程使用的特殊气体。外界解读,2022年2月俄乌战争爆发后,氖气(Ne)价格暴涨拉动韩国自产需求,恰好逢TEMC成功自产氖气,才促成此情此景。

  事实上,氖是半导体曝光制程使用的准分子雷射气体主要原料,而TEMC来自SK海力士(SK Hynix)所培育的技术创新企业第二期。

  值得注意的是,一般考量安全、机密等问题,三星会避免选用竞业的合作伙伴,不过半导体制程用的特殊气体紧缺,加上三星已在2022年初投资TEMC,最终三星决定打破惯例与TEMC合作。

  TEMC创立于2015年,除氖气之外,也生产氙(Xe)、氪(Kr)、准分子雷射气体等稀有气体,以及蚀刻制程用一氧化碳(CO)、硫化羰基(COS)与CF系列等,另外还有蒸镀制程用乙硼烷(B2H6)多种特殊气体。

  2018年时,TEMC被SK海力士选入第二期技术新创公司,从此切入SK海力士供应链。

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