近日，晶圆传输设备整机模块及关键零部件项目签约入驻浙江海宁经济开发区。
该项目由上海果纳半导体技术有限公司投资建设，总投资2.3亿元，固定资产投资不低于1.85亿元，总用地面积约40亩。
晶圆传输模块是所有的半导体制程、检测设备都必不可少的关键组成部分，目前，该设备的高端机型均被国外供应商垄断。
新公司将继续顺应半导体设备、部件国产化趋势，不断深耕优化晶圆传输设备前端模块EFEM、晶圆分选机SORTER，致力自主研发被国外垄断的关键零部件，填补国产零部件的空白，推动完善产业链的国产化。
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