华虹宏力中紫外步进式光刻机项目中标结果公示

来源: 芯闻路1号 作者:天权蜥蜴姐 2022-07-21 12:40:08

  近日,中国招标投标公共服务平台官网公示,上海华虹宏力半导体制造有限公司(以下简称“华虹宏力”)中紫外步进式光刻机项目中标结果。标的物为中紫外步进式光刻机,中标人为日本制造商Nikon Corporation。

  据官网介绍,华虹宏力是华虹半导体全资子公司,由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司新设合并而成。目前,华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂(华虹一厂、二厂及三厂),月产能约18万片。

  华虹宏力工艺技术覆盖1微米至90纳米各节点,工艺类型包括嵌入式非易失性存储器(eNVM)、功率器件、模拟及电源管理和逻辑及射频等差异化工艺平台。

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