据台媒报道，荷兰半导体设备厂商ASML执行长于近日表示，由于公司扩产的速度跟不上各晶圆厂纷至沓来的需求，预计2023、2024年业界将面临光刻机台供应短缺的困境。

  据媒体报道，三星、台积电从2017年开始就推进7nm以下先进制程，EUV光刻机台更成为不可或缺的关键设备。因此，由于布局较早，三星和台积电则成为目前拥有EUV机台较多的厂商。

  而英特尔由于此前量产的7nm工艺并未导入EUV制程，相较之下时程较晚。而英特尔规划从2022下半年投产4nm制程开始逐步导入EUV系统，连同预计将在2023、2024年量产的英特尔3nm等制程，也将采用EUV技术。

  但是，英特尔执行长Pat Gelsinger也坦承，全球扩建晶圆厂计划恐因EUV系统交货不足，无法让所有新厂按时程进入量产。

  除上述晶圆代工厂急需EUV光刻机台之外，美光、SK海力士等存储厂商也将于近年引入EUV光刻机台以生产制程更为先进的内存芯片，因此，EUV光刻机台将面临更加激烈的竞争。