2月8日消息，上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。

  早在2021年9月份，上海微电子举行了新产品的发布会，对外宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。上海微电子当时已与多家客户达成销售新一代封装光刻机销售协议，首台将于年内交付。

（图片来源于上海微电子官网）