2月8日消息，上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。
早在2021年9月份，上海微电子举行了新产品的发布会，对外宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。上海微电子当时已与多家客户达成销售新一代封装光刻机销售协议，首台将于年内交付。
（图片来源于上海微电子官网）
上海微电子正式交付首台先进封装光刻机
来源： 芯闻路1号 2022-02-08 14:05:51
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