半导体前道检测设备的分类问题十分复杂，困扰了我很久。最近，我和多名行业专家沟通以后，逐步开始厘清脉络，有些初步的结果

  今天我把最近整理的缺陷和污染检测设备供应商数据拿出来和大家分享交流。