1月11消息，光刻机制造商ASML位于德国柏林的一座工厂近日发生火灾，大火在当晚被扑灭，没有人员在火灾中受伤，ASML随后也宣布将对火灾的影响进行评估，并对外公布相关的消息，目前已完成初步的评估工作。
ASML在官网上表示，虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产，但ASML位于柏林的工厂，生产DUV和EUV光刻机的部分部件在火灾中都受到了影响。ASML在官网上表示，目前DUV光刻机零部件的生产部分生产已经恢复，将以一种不会影响DUV光刻机产量和收入计划的方式进行补救。
柏林工厂受火灾影响仍未恢复的是EUV光刻机一个零部件的生产区域，恢复计划仍在进行中，他们已决定采取相关的措施，将对EUV光刻机客户、产出计划及服务的潜在影响降到最低。ASML将在1月19日披露去年四季度及全年的业绩，预计会提供火灾影响的最新信息。
（图片来源于ASML官网）
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