1月4日消息，全球半导体设备光刻机巨头ASM宣布，其位于德国柏林的部分工厂于近日（1月2日）发生火灾。大火在夜间被扑灭，所幸事件中没有人员受伤。
（图片来源于ASML官网）
ASML表示，目前就损失或该事件是否会对今年的产量计划产生任何影响发表任何声明还为时过早，因为进行彻底调查并做出全面评估需要几天时间。
据了解，此次发生火灾的工厂过去为ASML的供应商Berliner Glas所有，其主要为ASML的光刻设备生产其中的零组件，最后使得曝光设备能用于生产制造半导体芯片。而 Berliner Glas所生产的零组件主要包括晶圆台(wafer tables)、光罩盘(reticle chucks)、以及反射镜 (mirror blocks)等产品。
全部评论