据媒体报道,由日本电子零部件企业田村制作所和AGC等出资成立的Novel Crystal Technology宣布成功量产了全球首款以新一代功率半导体材料“氧化镓”制成的100mm晶圆,预计将在2021年内开始供应晶圆。
据介绍,氧化镓的别名是三氧化二镓,氧化镓(Ga2O3)是一种宽禁带半导体,也是一种透明的氧化物半导体材料,在光电子器件方面有广阔的应用前景,被用作于Ga基半导体材料的绝缘层,以及紫外线滤光片。
据悉,客户企业可以用支持100毫米晶圆的现有设备制造新一代产品,有效运用过去投资的老设备。
氧化镓晶圆的价格比碳化硅晶圆低,而且可以更加高效地控制电力。由于可以用支持100毫米晶圆等的现有设备来生产半导体,能够控制住设备投资。此外,Novel Crystal Technology还计划2023年供应150毫米晶圆。
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