来源:内容来自公众号「 半导体百科 」,作者:岩井洋,谢谢。 2018年分享过一份岩井教授2012年HKMG的文档: High-k, Metal Gate, Channel Materials New material integration ,可能文档太长,没有太多人阅读。 以下文档是岩井教授在2015的一个演讲文件,也是实验室网站上挂出的最后一个文档,因为2015年之后就退休了。 里面盘点了半导体工业60年以来最重要的发明创新。 相信每一个发明创造背后都有一个故事,所以有兴趣的朋友可以依次去搜索相关文献。 责任编辑:Sophie
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