超声波压电马达结构原理图
对于这种类型的压电马达，滑块的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。
图3中的第一幅图展示了超声波马达的主要结构，第二幅图展示了压电马达的两种工作状态，左图接触点沿切线方向移动，即运动方向，右图接触点沿上下运动。对压电陶瓷施加电信号，同时产生这两种模式，并使相位差为正负90°这会使接触点产生椭圆振动如图3中第一幅图所示。此外，接触点的轨迹也可由驱动信号的幅值和频率控制。
超声波马达的特点
该马达是将椭圆振荡推动滑块移动，产生很小的位移，并通过高频率产生极高的速度，通常可达到100mm/s，并且没有噪声，良好的可重复性，电机在定位后无漂移实现自锁。并且拥有较长的使用寿命，通常在10-100km。但是该马达输出力较小，通常只有1N，位移精度会比其它两种马达略差。
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