步进式压电马达的工作原理
典型的步进式压电马达至少由3个压电促动器，如图2中的第一幅图所以，其中A和B促动器用来接触滑块，并扮演卡紧机构的角色。而C促动器则用来使滑块产生平移运动。
在静止时，促动器A和B同时接触滑块。当开始运动时，促动器B膨胀，A缩回，此时只有B与滑块接触，如图2中第一幅图所示。于此同时C形变通过B与滑块的接触使滑块产生位移如图2中第二幅图所示。然后促动器A膨胀，B缩回，此时只有A与滑块接触如图2中第三幅图所示，随后压电陶瓷C缩回至初始位置如图2第四幅图所示。最后再次缩回A，膨胀B，重复以上状态是滑块产生宏观位移。
步进压电马达的特点
步进式压电马达一般拥有较高的输出力，输出力高达10N。移动时由压电陶瓷形变推动滑块移动，因此可以达到较高的分辨率，可时间纳米级别的定位并且没有漂移。但是由于该类型马达的移动需要多个压电陶瓷配合，这限制了压电位移平台的速度，通常小于10mm/s。此外因为无法达到严格的公差，导致接触点的摩擦，导致了平台较低的寿命，此外该电机通常由多个压电陶瓷组合使用使其成本较高。
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